ウェハ関連

ウェハエッジ検査装置
EZ300

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

多波長ウェハ検査装置
LXシリーズ

ウェハ欠陥検査/レビュー装置　
MAGICSシリーズ M5640

マスク関連（半導体）

マスク欠陥検査装置
MATRICS X8ULTRAシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

フォトマスク欠陥検査装置　
MATRICS X700HiTシリーズ

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS　E120

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM9650/M9651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

位相差/透過率測定装置　
MPM193EX

位相シフト量測定装置　
MPM248